Lexikon der Optik: Mikrostrukturierung
Mikrostrukturierung, eine Anwendung laserchemischer Verfahren in der Mikroelektronik. Die gute Fokussierbarkeit der Laserstrahlung insbesondere im UV-Bereich erlaubt die photochemische Beeinflussung sehr kleiner räumlicher Bereiche auf verschiedenen in der Mikroelektronik gebräuchlichen Substratmaterialien (Mikrochemie). Es sind Schichtabscheidung, chemisches Ätzen und Dotieren mit Lasern bei Strukturbreiten kleiner als 1 μm möglich. Wegen der Nichtlinearität der photochemischen Prozesse kann die erreichte Strukturbreite deutlich kleiner als der Fokusdurchmesser des Laserlichtes sein. Hat man hinreichend intensive UV-Laser mit geeigneten Strahlparametern zur Verfügung, wie z.B. Excimerlaser, dann läßt sich eine M. mit wenigen Laserpulsen auch auf großen Flächen durchführen. Hier verwendet man geeignete Masken, die dicht über dem Substrat vom Laserlicht durchstrahlt oder mit Hilfe eines optischen Systems auf das Substrat – unter Umständen noch verkleinert – abgebildet werden. Eine spezielle Variante, bei der die M. über Masken durch die Belichtung von Photolacken erfolgt, ist die Photolithographie mit Lasern.
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