Lexikon der Physik



Molekularstrahlepitaxie 3: in-situuRHEED-Beobachtung des Aufwachsens (I), Abtragens(III) und Wiederaufwachsens (IV) einer GaAs-Schicht unter Verwendung von AsBr3 als Ätzmittel. Die RHEED-Oszillationen zeigen, daß die Wachstums- und Ätzprozesse weitgehend atomlagenweise erfolgen.

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