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Lexikon der Biologie: Röntgenmikroanalyse

Röntgenmikroanalyse w, energy dispersive X-ray analysis, Abk. EDX, elektronenmikroskopisches Verfahren (Elektronenmikroskop) zur Elementaranalyse von Dünnschnittpräparaten. Bei der Bestrahlung einer Probe mit hochenergetischen Elektronen findet, als einer der dominantesten inelastischen Streuprozesse, eine atomare Innerschalen-Ionisation statt. Das Entfernen z.B. eines Elektrons der K-Schale durch eines der Strahlelektronen hinterläßt das entsprechende Atom in einem elektronisch angeregten Zustand (Anregung). Der durch das Fehlen des Elektrons nun unbesetzte atomare Zustand wird durch Nachrücken eines Außerschalenelektrons wieder besetzt. Die Energiedifferenz zwischen angeregtem Anfangszustand und relaxiertem Endzustand wird oft durch Abgabe eines Röntgen-Quants charakteristischer Energie ausgeglichen. Die Wellenlänge der emittierten Röntgenstrahlen ist ein Maß für die energetische Differenz der beiden Zustände und spezifisch für jedes chemische Element. Somit gestatten die gemessenen Röntgenquanten eine Aussage über die Verteilung von Elementen in einer Probe.

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