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Lexikon der Chemie: Elektronenstrahlmikroanalyse

Elektronenstrahlmikroanalyse, ESMA, EMA, Elektronenstrahlmikrosonde, spezielle Methode der Röntgenspektroskopie zur Lokalanalyse im μm-Bereich.

Auf die zu analysierende Stelle einer Probenoberfläche lenkt man einen genau fokussierten Elektronenstrahl. Die von den Elektronen getroffene Fläche emittiert ein Röntgenspektrum, das mit einem Röntgenspektrometer untersucht wird. Es kann damit die chem. Zusammensetzung des von der Elektronensonde erfaßten Untersuchungsvolumens bestimmt werden. Alle Elemente mit Ordnungszahlen größer als Beryllium können bestimmt werden. Moderne Geräte sind mit Möglichkeiten für einen Rasterbetrieb ausgestattet. Man kann mit ihnen gleichzeitig analysieren und mikroskopieren. An der Oberfläche der Probe werden die auffallenden Elektronen teilweise reflektiert, teilweise werden energieärmere Sekundärelektronen emittiert. Sie werden zur Helligkeitssteuerung einer Bildröhre verwendet. Man erhält so auf dem Bildschirm ein für die chem. Zusammensetzung der Probe charakteristisches Bild der Oberfläche.

Die E. dient wie die Auger-Elektronen-Spektroskopie, mit der sie aufgrund der gleichen Anregungsbedingungen kombiniert werden kann, zur Oberflächenanalytik, wobei Untersuchungen von Diffusionsvorgängen in Katalysatoren, Metallen, Gläsern oder die Bestimmungen der Dicke von metallischen Schichten oder Filmen im Vordergrund stehen.

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