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Lexikon der Optik: inkrementale Meßverfahren

inkrementale Meßverfahren, allgemein Verfahren, bei denen der Wert der zu messenden Größe dadurch gefunden wird, daß man alle kleinen Zuwächse (Inkremente) aufsummiert, welche sie bis zum Erreichen des gesuchten Endwertes im Laufe der Zeit erfahren hat. Ein solches Verfahren läßt sich im besonderen für eine sehr genaue Ortsbestimmung eines bewegten Systems sowie zu einer präzisen Winkelmessung nutzen. Die Inkremente werden bei der Wegmessung als optisch-elektronische Signale mit Hilfe eines mitbewegten Strichmaßstabes oder an Hand der Interferenzstreifen gebildet, die in einem Laserwegmeßsystem von einem Michelson-Interferometer, dessen einer Spiegel mit dem bewegten System verbunden ist, bei Einstrahlung von Laserlicht erzeugt werden.

Eine Erhöhung der Auflösung wird durch elektronische Interpolationsverfahren erzielt, bei denen häufig vier um eine viertel Inkrementbreite gegeneinander verschobene Ausgangssignale vom Empfängersystem registriert werden.

I. M. für die optisch-elektronische Längenmessung gestatten Auflösungen bis 10 nm und darunter. Ihre Vorteile liegen in der berührungsfreien Antastung der Maßverkörperungen und in der Möglichkeit, große Weglängen zu messen. I. M. eignen sich auch zu einer präzisen Winkelmessung. Es gibt inkrementale Winkelmeßsysteme zur endlosen Winkelmessung als abgeschlossene Geräteeinheiten, bei denen ein Rasterkreis von elektronischen Sensorsystemen, die sich hinter Gegenrastern befinden, abgetastet wird. Es entstehen so phasenverschobene Sinussignale. Die Anzeige erfolgt der Drehrichtung entsprechend vorzeichenabhängig. Übliche Durchmesser inkrementaler Winkelmeßsysteme betragen 40 bis 170 mm, die kleinsten Meßschritte haben Werte von 10-2 bis 3×10-6 Grad bei bis zu 4096facher Interpolation. In Verbindung mit einem mechanischen Translations-Rotations-Wandler (z.B. Meßspindel-Mutter) können inkrementale Winkelmeßsysteme auch zur Wegmessung genutzt werden.

Die Anwendung der i. M. erstreckt sich auf alle Bereiche der Präzisionslängen- und -winkelmessung. Eine wichtige Rolle spielen sie im Maschinenbau (bei Werkzeugmaschinen, Maschinen zur Ultrapräzisionsbearbeitung oder Koordinatenmeßgeräten).

  • Die Autoren
Roland Barth, Jena
Dr. Artur Bärwolff, Berlin
Dr. Lothar Bauch, Frankfurt / Oder
Hans G. Beck, Jena
Joachim Bergner, Jena
Dr. Andreas Berke, Köln
Dr. Hermann Besen, Jena
Prof. Dr. Jürgen Beuthan, Berlin
Dr. Andreas Bode, Planegg
Prof. Dr. Joachim Bohm, Berlin
Prof. Dr. Witlof Brunner, Zeuthen
Dr. Eberhard Dietzsch, Jena
Kurt Enz, Berlin
Prof. Joachim Epperlein, Wilkau-Haßlau
Prof. Dr. Heinz Falk, Kleve
Dr. Wieland Feist, Jena
Dr. Peter Fichtner, Jena
Dr. Ficker, Karlsfeld
Dr. Peter Glas, Berlin
Dr. Hartmut Gunkel, Berlin
Dr. Reiner Güther, Berlin
Dr. Volker Guyenot, Jena
Dr. Hacker, Jena
Dipl.-Phys. Jürgen Heise, Jena
Dr. Erwin Hoffmann, Berlin (Adlershof)
Dr. Kuno Hoffmann, Berlin
Prof. Dr. Christian Hofmann, Jena
Wolfgang Högner, Tautenburg
Dipl.-Ing. Richard Hummel, Radebeul
Dr. Hans-Jürgen Jüpner, Berlin
Prof. Dr. W. Karthe, Jena
Dr. Siegfried Kessler, Jena
Dr. Horst König, Berlin
Prof. Dr. Sigurd Kusch, Berlin
Dr. Heiner Lammert, Mahlau
Dr. Albrecht Lau, Berlin
Dr. Kurt Lenz, Berlin
Dr. Christoph Ludwig, Hermsdorf (Thüringen)
Rolf Märtin, Jena
Ulrich Maxam, Rostock
Olaf Minet, Berlin
Dr. Robert Müller, Berlin
Prof. Dr. Gerhard Müller, Berlin
Günter Osten, Jena
Prof. Dr. Harry Paul, Zeuthen
Prof. Dr. Wolfgang Radloff, Berlin
Prof Dr. Karl Regensburger, Dresden
Dr. Werner Reichel, Jena
Rolf Riekher, Berlin
Dr. Horst Riesenberg, Jena
Dr. Rolf Röseler, Berlin
Günther Schmuhl, Rathenow
Dr. Günter Schulz, Berlin
Prof. Dr. Johannes Schwider, Erlangen
Dr. Reiner Spolaczyk, Hamburg
Prof. Dr. Peter Süptitz, Berlin
Dr. Johannes Tilch, Berlin (Adlershof)
Dr. Joachim Tilgner, Berlin
Dr. Joachim Träger, Berlin (Waldesruh)
Dr. Bernd Weidner, Berlin
Ernst Werner, Jena
Prof. Dr. Ludwig Wieczorek, Berlin
Wolfgang Wilhelmi, Berlin
Olaf Ziemann, Berlin


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