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Lexikon der Optik: rechnergesteuerte Polierkorrektur

rechnergesteuerte Polierkorrektur, Verfahren zur End-/Korrekturbearbeitung hochgenauer Linsen- und Spiegelflächen. Das Prinzip des Verfahrens besteht darin, die Formabweichungen (Zonenfehler, nichtrotationssymmetrische Fehler) einer polierten optischen Funktionsfläche mit einem im Vergleich zur Bauelementdimension kleinen Polierwerkzeug gezielt zu reduzieren. Bei der Korrekturbearbeitung überstreicht das Werkzeug längs einer vorgegebenen Bahn die Bauelementoberfläche vollständig und leistet dabei einen, in Abhängigkeit von der Höhe der Formabweichung am jeweiligen Orte der Oberfläche von Ort zu Ort verschiedenen Polierabtrag.

Als Polierwerkzeuge werden angetriebene rotierende oder auch oszillierende Scheiben mit Pech-, Filz-, oder synthetischen Poliermittelträgern (Fertigungstechnik der Optik) verwendet. Als Poliermittel kommen die aus der Fertigungstechnik der Optik bekannten zum Einsatz.

Die r. P. beinhaltet drei Prozeßschritte:

1. Ortsaufgelöste quantitative Ermittlung des Fehlergebirges mittels Digitalinterferometern, bei Asphären auch mit hochgenauen Koordinatenmeßgeräten.

2. Berechnung der ortsabhängigen Bearbeitungszeit des Polierwerkzeuges. Die verwendeten mathematischen Formalismen sind Iterationsverfahren und Fourier-Algorithmen (Faltung).

3. Durchführung der Korrekturbearbeitung mit numerisch gesteuerten Maschinen.

Typische Einsatzgebiete der r. P. sind die Formkorrektur großer asphärischer Spiegelsubstrate für astronomische und Laseranwendungen, die Bearbeitung hochgenauer Linsen- und Spiegelflächen, z.B. für photolithographische Abbildungssysteme, und die Glättung und Formkorrektur diamantgedrehter optischer Oberflächen. Weiterhin wird das Verfahren zur Korrektur fertigungs- und materialbedingter Aberrationen optischer Systeme durch gezielte Deformation ausgewählter optischer Funktionsflächen genutzt.

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