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Lexikon der Optik: telezentrisch

telezentrisch, Bezeichnung für den achsenparallelen Verlauf der Hauptstrahlen (Blende) eines optischen Systems. Während bei gegenüber der optischen Achse geneigten, objektlagenabhängigen Hauptstrahlen (Abb. a) der Abbildungsmaßstab bezüglich einer fest mit dem System verbundenen Auffangebene von der Objektlage abhängig ist und sich bei Defokussierung und unebener Auffangfläche ändert (Abb. c), erreicht man durch Anordnung der Aus- bzw. Eintrittspupille in der Brennebene des Bild- bzw. Objektraumes einen objekt- bzw. bildseitig telezentrischen Hauptstrahlengang mit konstantem, von Defokussierung und Unebenheit des Objektes bzw. Bildes unabhängigen Abbildungsmaßstab bei fester Auffangebene (Abb. b) bzw. Objektlage (Abb. d). Objektseitig telezentrischer Strahlengang ist z.B. bei Meßmikroskopen notwendig, bei denen das in der Auffangebene angebrachte Okularmikrometer vor der Messung mit einem Objektmikrometer in der Objektebene kalibriert wird. Ohne objektseitige Telezentrie verursacht jede Lageabweichung des Objektes von der kalibrierten Ebene einen Meßfehler. Setzt man bei afokalen Systemen die Aperturblende in die gemeinsame innere Brennebene beider Glieder (Abb. e), so erhält man beiderseitige Telezentrie mit konstantem, nur vom Brennweitenverhältnis beider Glieder abhängigen Abbildungsmaßstab. Photolithographische Hochleistungsobjektive müssen zur Unterdrückung von Maßstabsfehlern infolge Defokussierung und Unebenheit von Maske und Wafer beiderseits telezentrisch sein. Bei Telezentrie kann der Bereich der Abbildungs- und Schärfentiefe ohne Meßfehler voll ausgenutzt werden.











telezentrisch: Hauptstrahlenverlauf und Abbildungsmaßstab. a) nicht telezentrischer Strahlengang mit objektabhängigem Abbildungsmaßstab in einer im Schärfenbereich liegenden Auffangebene, b) objektseitig telezentrischer Strahlengang mit konstantem Abbildungsmaßstab in einer im Schärfenbereich liegenden Auffangebene, c) nicht telezentrischer Strahlengang mit Änderung des Abbildungsmaßstabes bei Defokussierung und Unebenheit der Auffangfläche, d) bildseitig telezentrischer Strahlengang ohne Änderung des Abbildungsmaßstabes bei Defokussierung und Unebenheit der Auffangfläche, e) beiderseits telezentrischer Strahlengang eines afokalen Systems ohne Änderung des Abbildungsmaßstabes bei Defokussierung im Schärfebereich und Unebenheit der Auffangfläche und des Objektes.

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