Direkt zum Inhalt

Lexikon der Optik: Vielwellenlängeninterferometrie

Vielwellenlängeninterferometrie, interferometrisches Verfahren, bei dem zum Zwecke der Verringerung des Höhenlinienabstandes (des zwei benachbarten Interferenzstreifen entsprechenden Dickenunterschiedes der durchstrahlten keilförmigen Schicht) gleichzeitig Licht dicht beieinanderliegender, äquidistanter Wellenlängen eingestrahlt wird. Derartiges Licht erhält man z.B. dadurch, daß man ein Fabry-Perot-Etalon in axialer Richtung mit breitbandigem Lichte (gefiltertem Weißlicht) bestrahlt. Es wird dann Licht nur bei den Wellenlängen λM=2D/M hindurchgelassen, wobei D die Dicke des Etalons und M die Ordnung der Interferenz bezeichnen. Die Wellenlängen λM sind in guter Näherung äquidistant.

Die zu prüfende Oberfläche befindet sich in einem Fizeau-Interferometer (Abb. 1). Sorgt man dafür, daß D N-mal so groß ist wie der Plattenabstand im Fizeau-Interferometer an einer bestimmten Stelle (N eine ganze Zahl), dann fällt die Ordnung m beim Fizeau-Interferometer mit der Ordnung M=Nm beim Fabry-Perot-Etalon zusammen. Zwei Interferenzstreifen, die bei benachbarten Wellenlängen, jedoch in gleicher Ordnung m auftreten, entspricht dann ein Dickenunterschied (Höhenlinienabstand) Δd=λ/(2N) der Luftschicht im Fizeau-Interferometer (Abb. 2). Um die Zählung der Streifen zu vereinfachen, strahlt man gleichzeitig Licht einer Spektrallampe ein, das helle Streifen mit dem Streifenteilwert λ/2 liefert.



Vielwellenlängeninterferometrie 1: Kombination eines Fabry-Perot- mit einem Vielstrahl-Fizeau-Interferometer.



Vielwellenlängeninterferometrie 2: Interferogramme einer Planflächenkombination nach dem Verfahren gemäß Abb. 1. Der Höhenlinienabstand beträgt in der Reihenfolge von links oben nach rechts unten λ/50, λ/10, λ/30 und λ/50 (Wellenlänge λ = 546 nm). Die beiden hellen Streifen links oben rühren von der Spektrallampe her.

Schreiben Sie uns!

Wenn Sie inhaltliche Anmerkungen zu diesem Artikel haben, können Sie die Redaktion per E-Mail informieren. Wir lesen Ihre Zuschrift, bitten jedoch um Verständnis, dass wir nicht jede beantworten können.

  • Die Autoren
Roland Barth, Jena
Dr. Artur Bärwolff, Berlin
Dr. Lothar Bauch, Frankfurt / Oder
Hans G. Beck, Jena
Joachim Bergner, Jena
Dr. Andreas Berke, Köln
Dr. Hermann Besen, Jena
Prof. Dr. Jürgen Beuthan, Berlin
Dr. Andreas Bode, Planegg
Prof. Dr. Joachim Bohm, Berlin
Prof. Dr. Witlof Brunner, Zeuthen
Dr. Eberhard Dietzsch, Jena
Kurt Enz, Berlin
Prof. Joachim Epperlein, Wilkau-Haßlau
Prof. Dr. Heinz Falk, Kleve
Dr. Wieland Feist, Jena
Dr. Peter Fichtner, Jena
Dr. Ficker, Karlsfeld
Dr. Peter Glas, Berlin
Dr. Hartmut Gunkel, Berlin
Dr. Reiner Güther, Berlin
Dr. Volker Guyenot, Jena
Dr. Hacker, Jena
Dipl.-Phys. Jürgen Heise, Jena
Dr. Erwin Hoffmann, Berlin (Adlershof)
Dr. Kuno Hoffmann, Berlin
Prof. Dr. Christian Hofmann, Jena
Wolfgang Högner, Tautenburg
Dipl.-Ing. Richard Hummel, Radebeul
Dr. Hans-Jürgen Jüpner, Berlin
Prof. Dr. W. Karthe, Jena
Dr. Siegfried Kessler, Jena
Dr. Horst König, Berlin
Prof. Dr. Sigurd Kusch, Berlin
Dr. Heiner Lammert, Mahlau
Dr. Albrecht Lau, Berlin
Dr. Kurt Lenz, Berlin
Dr. Christoph Ludwig, Hermsdorf (Thüringen)
Rolf Märtin, Jena
Ulrich Maxam, Rostock
Olaf Minet, Berlin
Dr. Robert Müller, Berlin
Prof. Dr. Gerhard Müller, Berlin
Günter Osten, Jena
Prof. Dr. Harry Paul, Zeuthen
Prof. Dr. Wolfgang Radloff, Berlin
Prof Dr. Karl Regensburger, Dresden
Dr. Werner Reichel, Jena
Rolf Riekher, Berlin
Dr. Horst Riesenberg, Jena
Dr. Rolf Röseler, Berlin
Günther Schmuhl, Rathenow
Dr. Günter Schulz, Berlin
Prof. Dr. Johannes Schwider, Erlangen
Dr. Reiner Spolaczyk, Hamburg
Prof. Dr. Peter Süptitz, Berlin
Dr. Johannes Tilch, Berlin (Adlershof)
Dr. Joachim Tilgner, Berlin
Dr. Joachim Träger, Berlin (Waldesruh)
Dr. Bernd Weidner, Berlin
Ernst Werner, Jena
Prof. Dr. Ludwig Wieczorek, Berlin
Wolfgang Wilhelmi, Berlin
Olaf Ziemann, Berlin


Partnerinhalte

Bitte erlauben Sie Javascript, um die volle Funktionalität von Spektrum.de zu erhalten.