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Ästhetik in der Wareneingangskontrolle



Was einer Galaxie ähnelt, spiegelt die Reinheit eines Silicium-Wafers. Ob der im geforderten Maße frei von Fremdstoffen ist, zeigt sich unter anderem im Schräglicht. Zuvor wurde die Oberfläche mit einem Ätzmittel behandelt, das an Störungen des Kristallgitters bevorzugt angreift. Dort entstehen Vertiefungen, die schräg einfallendes Licht streuen und sich deshalb hell und nebelartig darstellen. Die Ringstruktur spiegelt den Ziehprozeß wieder: Der Silicium-Einkristall wächst langsam nach außen, während er aus einer Schmelze gezogen wird. Das Verfahren ist mittlerweile in der Wareneingangskontrolle der Hersteller etabliert. Partikel, die nach dem Ätzen auf die Oberfläche gelangten, verursachten die roten Flecken.


Aus: Spektrum der Wissenschaft 3 / 2000, Seite 90
© Spektrum der Wissenschaft Verlagsgesellschaft mbH

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