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News: Neue Lampen für noch kleinere Strukturen

Bundesweit möchte eine Gruppe von Forschern eine neuartige Röntgenlampe entwickeln, die zur Herstellung kleinster Chipstrukturen der nächsten Generation dienen soll. Hansheinrich Langhoff von der Universität Würzburg ist mit seiner Arbeitsgruppe dafür zuständig, das erforderliche heiße Plasma für die Lampe zu erzeugen. Es soll ihnen mit einer so genannten Hochstrom-Gasentladung gelingen. Dazu werden die Forscher Stromimpulse von rund 100 000 Ampere durch eine enge, gasgefüllte Kapillare schicken. Die dabei auftretenden magnetischen Kräfte bewirken, dass sich der Strom zu einem dünnen, heißen Faden zusammenzieht. Wird die Kapillare mit Sauerstoff oder Xenon gefüllt, dann entsteht die gewünscht intensive Strahlung mit einer Wellenlänge von 13 Nanometern. Die Industrie rechnet damit, dass die Belichtungsmaschine in etwa drei Jahren einsatzbereit ist. Die Speicherdichte ließe sich damit theoretisch um einen Faktor hundert zu heute erhöhen.

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