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News: Winziges Thermometer zur Fehlersuche auf Chips

Ivo Rangelow und seine Mitarbeiter am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) der Universität in Kassel entwickelten das kleinste "Chip-Thermometer" der Welt. Mit dem neuen Werkzeug lassen sich Temperaturen mit der Genauigkeit von einem tausendstel Grad Celsius messen und so Fehler auf Mikrochips entdecken. Das winzigkleine Thermometer besteht aus einem Nanodraht mit einem Durchmesser von ungefähr hundert Nanometern in Form einer Schleife. Als Messprinzip wird das Verhalten des so genannten elektrischen Thermoschleifenwiderstandes bei einer Temperaturveränderung genutzt. Darüber hinaus haben die Wissenschaftler die Schleife auf einen weichen Biegebalken befestigt, sodass sie gleichzeitig als Abtastspitze eines Kraftmikroskops dienen und die Topologie des Chips abbilden kann.

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