Aufwachsverfahren, Van-Arkel-de-Boer-Methode, Verfahren zur Gewinnung reiner bzw. reinster Metalle und Halbmetalle (Titan, Zirconium, Hafnium, Thorium, Vanadium, Tantal, Rhenium, Bor, Silicium) sowie deren Verbindungen (z. B. Titancarbid TiC, Titannitrid TiN, Zirconiumnitrid ZrN) durch thermische Zersetzung einer flüchtigen Metallverbindung (Metallhalogenid), die im Reaktionsgefäß vorgelegt wird oder durch chem. Reaktion entsteht. Das Gefäß wird evakuiert, auf 500 bis 600 °C erhitzt und ein Wolframdraht von 40 µm Durchmesser auf 1200 bis 1800 °C erhitzt. Das gasförmige Metallhalogenid zersetzt sich am Glühdraht unter Abscheidung des reinen Metalls, während das freigesetzte Halogen für die weitere chemische Transportreaktion des Ausgangsmetalls zur Verfügung steht.



Aufwachsverfahren. Abb.: Glühdrahtverfahren für den Zirconiumtransport.